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匹配器对等离子清洗机放电有什么影响

时间:2021-07-03 14:34
等离子清洗机不放电或放电不稳定的原因常常是等离子体发生器阻抗匹配问题。在等离子体发生器能量传输过程中,如果反应腔、电极阻抗和传输线的特征阻抗不相等,在传输过程中很容易形成反射,有些能量会由于加热等方式而丢失,而不是被负载吸收,这样就会直接影响等离子体表面处理的效果。所以昭沅仪器小编提醒大家匹配器对于等离子清洗机至关重要。
匹配器对等离子清洗机放电有什么影响
1、反应腔,电极和等离子发生器之间的桥梁。
阻抗配器可作为等离子清洗机反应腔、电极、等离子发生器之间的桥梁。为了保证高频放电回路中放电区域用电保护振荡器,通常需要在高频电源和等离子腔、电极之间设置阻抗匹配网络,根据放电条件的不同来调整,使高频发生器的输出阻抗与负载阻抗相匹配,使等离子清洗机放电稳定,工作效率高。
2、阻抗匹配是如何工作的?
对于一条有负载的直流电路,负载匹配的条件是外电路的负载电阻必须等于电源的内阻。这种Z大功率的直流回路定理实际上也存在于相应的交流回路中。
实际上,对于在控制回路中流过的太大的高频电流,高频发生器的输出阻抗通常设计为纯电阻,阻值一般为50Ω。但是高频放电阻抗一般是电容阻抗,它的值会随着等离子清洗机反应腔放电条件的变化而波动,这就需要对匹配网络的阻抗和放阻抗进行调整,使加合后模拟负载的阻抗与高频发生器的输出阻抗相一致,从而达到匹配的目的。
3、影响等离子清洗机匹配效果的几个主要因素
等离子清洗机的匹配必须与等离子体发生器匹配,而不能与大功率的等离子体发生器匹配,为了使等离子体清洗机能达到良好的匹配效果,还需注意以下几点。
在等离子清洗机反应腔和电极的设计过程中,要充分与配用者充分沟通相关技术参数,以满足配用者的匹配要求;
安装匹配器时,应尽可能靠近等离子清洗机反应腔和电极安装匹配器,以缩短连线,减少功率损耗;
气体流量、真空度、处理产品的材料和处理数量等因素都可能影响阻抗匹配,昭沅仪器小编建议需要根据实际情况对等离子清洗机进行调整。


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