等离子清洗机的高频放电会产生哪些作用
时间:2021-07-03 14:34
等离子清洗机的电源频率可分为低频40KHz，高频13.56MHz，微波2.45GHz，频率越高，对处理材料的效果就越好，之前的大量实验也表明，高频放电在提高电离能力，维持放电等方面比低频放电更有效。关于其成因，至今尚无明确统一的解释。为了让大家更好地了解等离子清洗机高频放电效率的相关知识， 上海昭沅仪器小编收集整理了一些资料。
能产生自持放电的最低容许气压随着频率的增加而降低，例如当频率为13.56MHz时，气压低于1.33×10-1Pa时，放电仍可维持；在放电相同的情况下，放电阻抗会随着频率的增加而降低，因此，在给定放电电压下，流过的电流明显增加。上述异常离子化现象与高频电场中电子的运动行为有密切关系。
1、等离子清洗机的电场强度和频率是决定电子运动特性的重要参数。
2、在等离子清洗机中，电子弹性碰撞的时间和电场位的配合能被加速。
在电离强化机理方面，先前已有学者指出，若电子与弹性碰撞的时间能与电场位适当配合，则可使其持续加速。在一段时间内，当电子与Ar原子发生弹性碰撞，并改变其运动方向时，电场正好换向，这时电子的速度和能量都会持续增加。若按此原理，即使是一个相当弱的电场，电子也可得到等量的电离能。这一机理被普遍认为是微波放电时产生大量电离的主要原因，电场频率在数千MHz范围内最有利，但也有人用来解释13.56MHz这样的频率范围内的电离过程。
还有学者作了同样的计算，认为二次电子从器壁和阴极发射后，被离子鞘加速进入光放电区域，成为电子的附加源。这时电子与器壁的碰撞，与微波放电时弹性碰撞作用相同，本质上属于二次电子的倍增现象，只取决于器壁释放出的二次电子。当二次电子放出的时候，碰巧在换向电场到达相位一致的时候，可以有效地增强离子化。通过大量高频溅射设备的计算，为了使高频电场峰达到11000V的峰值，需要使频率和极隙d的乘积的d达到几百MHz·cm。
3、上海昭沅仪器小编提醒大家，等离子清洗机电极的鞘层接触面上“冲浪”的电子也会加强电离。
