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等离子清洗机的高频放电会产生哪些作用

时间:2021-07-03 14:34
等离子清洗机的电源频率可分为低频40KHz,高频13.56MHz,微波2.45GHz,频率越高,对处理材料的效果就越好,之前的大量实验也表明,高频放电在提高电离能力,维持放电等方面比低频放电更有效。关于其成因,至今尚无明确统一的解释。为了让大家更好地了解等离子清洗机高频放电效率的相关知识, 上海昭沅仪器小编收集整理了一些资料。
等离子清洗机的高频放电会产生哪些作用
能产生自持放电的最低容许气压随着频率的增加而降低,例如当频率为13.56MHz时,气压低于1.33×10-1Pa时,放电仍可维持;在放电相同的情况下,放电阻抗会随着频率的增加而降低,因此,在给定放电电压下,流过的电流明显增加。上述异常离子化现象与高频电场中电子的运动行为有密切关系。
1、等离子清洗机的电场强度和频率是决定电子运动特性的重要参数。
2、在等离子清洗机中,电子弹性碰撞的时间和电场位的配合能被加速。
在电离强化机理方面,先前已有学者指出,若电子与弹性碰撞的时间能与电场位适当配合,则可使其持续加速。在一段时间内,当电子与Ar原子发生弹性碰撞,并改变其运动方向时,电场正好换向,这时电子的速度和能量都会持续增加。若按此原理,即使是一个相当弱的电场,电子也可得到等量的电离能。这一机理被普遍认为是微波放电时产生大量电离的主要原因,电场频率在数千MHz范围内最有利,但也有人用来解释13.56MHz这样的频率范围内的电离过程。
还有学者作了同样的计算,认为二次电子从器壁和阴极发射后,被离子鞘加速进入光放电区域,成为电子的附加源。这时电子与器壁的碰撞,与微波放电时弹性碰撞作用相同,本质上属于二次电子的倍增现象,只取决于器壁释放出的二次电子。当二次电子放出的时候,碰巧在换向电场到达相位一致的时候,可以有效地增强离子化。通过大量高频溅射设备的计算,为了使高频电场峰达到11000V的峰值,需要使频率和极隙d的乘积的d达到几百MHz·cm。
3、上海昭沅仪器小编提醒大家,等离子清洗机电极的鞘层接触面上“冲浪”的电子也会加强电离。


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