德国Kleindiek微操纵仪
德国Kleindiek Nanotechnik超微操纵仪的驱动单元是由压电陶瓷构成的纳米马达,因此它最大的特点是能够进行纳米级精确移动,也可以同时做到毫米级的移动范围,整个操纵装置全部由纳米马达驱动,从而保证了系统体积非常小,可以很容易地放入电子显微镜腔室内。
德国KleindiekNanotechnik生产的纳米显微操纵仪的突出特点:
纳米操纵精确度:安装在MM3A操纵臂前端的钨探针在X,Y方向最小移动距离为5nm,在Z方向最小移动距离为0.5nm。
快慢可调的操作速度:可以选择一个步进0.5nm,也可以选择最大移动速度1cm/S。MM3A将大范围和超精细操作完美地结合在一起。
紧凑的结构设计:MM3A体积小,可以很宽松地在电镜腔室内安装1~8个系统。
三维大空间操作范围:X、Y方向可以做240度的旋转,Z轴方向做12mm的伸长,MM3A可操作的空间范围最大达100cm3。
几乎无漂移:我们曾经做过实验MM3A钨探针针尖在场发射电镜放大100K条件下每隔一分钟拍一张照片,持续一小时后通过对照片的分析得出,在排除电镜电压不稳定因素外,MM3A几乎不产生漂移。
与电镜的连接:MM3A安装在加工好的平台上,该平台再固定在电镜的样品台上,整个安放过程十分方便,几分钟就可完成,不使用时将平台卸下取出既可。控制线通过电镜腔室上的空法兰穿出并密封,不会影响电镜的真空。
技术参数:
Length/Width/Height60/22/25mm
OperatingrangeXY/Z240°/12mm
ScanrangeX/Y/Z20/15/1µm
MaxSpeedXY/Zupto10/2mm/s
ResolutionX10-7rad(5nm)
ResolutionY10-7rad(3.5nm)
ResolutionZ0.25nm
HysterisisdeviationZ<200nm
HysterisisAngle(α)Z<10°(0.2rad)
Lowesttemp273K
Highesttemp353K
Lowestpressure10-7mbar
Holdingforce1N
Holdingtorque3Nmm-4Nmm
LiftY5g
Signalresistance(probing)7.0Ω
Maxvoltage(probing)100V;Maxcurrent(probing)100mA
测量材料电学性能
在扫描电镜中操作,进行断裂试验,微焊接
移动纳米级微小颗粒
半导体失效分析
光阑定位仪
作为SPM用在SEM中