PE-200等离子表面处理系统

PE-200是一款工业强度的等离子清洗系统，牢固可靠，性价比高，适合各类制造型企业，能满足7天X24小时不间断运行。全铝反应腔提供非常充裕的尺寸，可处理表面积超过500平方英寸。

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PE-200型等离子表面处理系统

PE-200是一款工业强度的等离子清洗系统，牢固可靠，而且性价比高，适合各类制造型企业能满足7天X24小时不间断运行。全铝反应腔提供非常充裕的尺寸，可处理表面积超过500平方英寸。

PE-200焊接铝真空反应腔包含一个宽松的500平方英寸的有效等离子处理面积。通过PLASMETCH表面改性可以获得增强的结合力和提升多数表面材料的洁净度。

典型的客户包括：先进生产制造工程，研究和开发实验室，测试工厂以及大学。工业客户包括生物医药，牙科，电子，光电子，医疗器械，塑料，光学，太阳能电池电池板等。.

特性：

使用我们的等离子清洗机处理，相比较化学浸泡方法，可以避免昂贵的有害化学废水处理。等离子处理非常容易使用，通过导引型触摸屏操作控制等离子过程的各个参数，来确保高重复性。
我们可以为客户定制反应腔和电极，来满足您的产品或是过程需要，包括定制尺寸水平电极，RIE(反应离子蚀刻)和半导体引线边框的布局。

标准配置：

焊接铝真空反应腔
3层水平处理电极13”宽x16”深3”间隔距离
300瓦射频发生器@13.56MHZ带自动匹配网络
一个200sccm质量流量控制器
皮拉尼真空计0-1托
微处理器控制系统，带触摸屏界面，存储20组过程参数

PE-200提供三种功能配置：

1.常规的等离子清洗和等离子蚀刻
2.反应离子蚀刻（RIE）
3.PE-200可转换配置，一个系统包含各向异性和各向同性等离子体处理可移除托盘配置。

选项

静电防护
过程温度控制
600W射频发生器@13.56MHz带600W自动匹配网络
信号灯塔
2个质量流量控制器（最多3个）
软件选择5种过程气体输入矩阵
控制氮气输入速率
定制反应腔尺寸和电极尺寸
RIE(反应离子蚀刻)配置

客户制作各种陶瓷部件，为了检测等离子处理这些陶瓷的效果，处理前后进行接触角测试。处理前，接触角88度。处理后，接触角降低到12度。接触角在每个样品的5个位置进行测试，接触角偏差2度。接下来的测试显示，接触角较低会显著提升结合力。

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