离子泵的发展史
从上世纪五十年代,由瓦里安公司首先发明的溅射离子泵问世以来,越来越多的新设计和新技术投入使用,其中大部分源自瓦里安公司,即现在的安捷伦科技。从二极型离子泵,到三极型离子泵,再到Starcell 系列产品乃至世界闻名的VacIon Plus 产品家族等。
VacIon Plus
— VacIon Plus 是安捷伦科技旗下的世界知名的离子泵产品家族,包括全系列离子泵、控制电源、可选配件及附件。可为各种应用提供相应解决方案。除标准产品外,安捷伦科技还为特定应用提供包括电源及相关附件在内的专属解决方案,以满足用户对起始工作压强、离子泵工作范围以及不同成份混合气体等指标的特殊要求。