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安捷伦Vaclon 离子泵

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安捷伦Vaclon 离子泵

微型 Vaclon 离子泵采用二极泵结构,并提供大约 0.4 L/s 的氮气抽速。2 L/s 型号采用改进型二极泵结构,能提高在低压下启动的能力。

安捷伦 VacIon 离子泵


微型 Vaclon 离子泵采用二极泵结构,并提供大约 0.4 L/s 的氮气抽速。2 L/s 型号采用改进型二极泵结构,能提高在低压下启动的能力。10 L/s 泵采用惰性气体优化的二极离子泵结构,对氢气之类残余气体具有较高效率。对惰性气体的抽速约为额定抽速的 20%。当需要不同的入口管线长度、角度和直径时,可选择订制型标准泵。这些泵还可以对高压真空密封穿导件、泵体几何尺寸和泵单元布局等进行定制。可为在某些领域有特殊要求的客户按照特定测试流程报价。
 
 
离子泵的发展史
从上世纪五十年代,由瓦里安公司首先发明的溅射离子泵问世以来,越来越多的新设计和新技术投入使用,其中大部分源自瓦里安公司,即现在的安捷伦科技。从二极型离子泵,到三极型离子泵,再到Starcell 系列产品乃至世界闻名的VacIon Plus 产品家族等。

VacIon Plus
— VacIon Plus 是安捷伦科技旗下的世界知名的离子泵产品家族,包括全系列离子泵、控制电源、可选配件及附件。可为各种应用提供相应解决方案。除标准产品外,安捷伦科技还为特定应用提供包括电源及相关附件在内的专属解决方案,以满足用户对起始工作压强、离子泵工作范围以及不同成份混合气体等指标的特殊要求。

— VacIon Plus 离子泵产品家族拥有Diode 二极型、Noble Diode 钽阴极二极型以及Starcell 三极型泵在内的全系列产品,以超高真空获得技术为众多应用领域服务。除MiniVac 和Dual 两款离子泵电源外,最新4UHV和 IPCMini 离子泵控制器则为不同应用提供了更为丰富的选择。


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