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使用等离子清洗机有什么要注意的

时间:2022-05-11 16:05 针对目前支持和购买过昭沅等离子清洗机的客户,在日常使用过程中所遇到的问题,我们用文字整理罗列出来了以下几点,由小编来为大家解答:
 使用等离子清洗机有什么要注意的
1.发现试验效果不佳,怎么办?
 
答:请查看泵油颜色是否暗淡,污浊,并及时更换泵油。
 
2:等离子清洗机不起辉光怎么办?
 
答:1. 射频灯未能提供射频;
 
2. 密封性可能存在漏气问题。
 
3:如何排查射频灯问题?
 
答:使用设备标配的测试灯管,放入主机腔体内,打开“RF”开关至“Hi”档,通过观察灯管状态判断射频灯问题(此过程不需抽真空)。
 
4:密封性问题如何解决?
 
答:1. 确保使用的真空泵能够达到或超过最小抽速1.4立方米每小时和极限负压不大于200mTorr;
 
2. 然后检查真空软管、所有软管卡箍和气体进气管路连接件是否正确并拧紧,等离子清洗机舱门是否正确关闭,门密封圈的地方是否清洁无缺陷。
 
5:是否有建议的清洗工艺参数?
 
答:射频功率等级应设置为中档或高档,600-800毫托压力和1-3分钟处理时间是比较好的工艺参数的初始值,最佳工艺参数值将取决于样品材料和预期的应用,这需要一些实验来确定这些最佳值。
 
6:如何测量真空负压值?
 
答:可以找我们购买相对应的测量设备,比如:真空监视单元或气体流量混合仪。
 
7:为什么泵油会回流?
 
答:如果配套泵浦是油泵的话,当工艺处理完成后,设备舱体内部不立即减压的话,油可能从真空油泵返流造成污染系统,我们建议使用有防回吸功能的真空泵。
 
8:如何清洗等离子清洗机真空腔内壁?
 
答:需定期清洗真空舱内壁、舱门以及O形圈,清洗方法请参见标准实验室玻璃器皿清洗方法,如可用酒精、丙酮或异丙醇浸泡或轻轻擦拭等离子体腔室的表面。
 



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