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哪些因素影响了等离子体清洗机的清洗效果

时间:2021-07-03 14:41 据昭沅小编的了解,影响等离子体清洗机处理效果的主要有:
哪些因素影响了等离子体清洗机的清洗效果
一是电极
电极的设计对等离子体洗效果有显著影响,主要包括电极的材料、布局和尺寸。
对于内电极等离子体清洗机,由于电极暴露在等离子体中,一些材料的电极会被一些等离子体腐蚀或溅射,造成不必要的污染,导致电极尺寸的变化,从而影响等离子体清洗的速度和均匀性。
较小的电极间距可以将等离子体限制在狭小的区域,从而获得更高密度的等离子体,实现更快的清洗。随着间距的增加,清洗速度逐渐下降,但均匀性逐渐增加。
电极的大小通常决定了等离子系统的整体容量。在电极平行分布的等离子体清洗机中,电极通常用作托盘,较大的电极可以一次清洗更多的部件,提高设备的运行效率。
二是工作压力
工作压力是等离子体清洗机的重要参数之一。压力的增加意味着等离子体密度的增加和粒子平均能量的降低。
以化学反应为主的等离子体密度的增加可以显著提高等离子体系的清洗速度,而以物理轰击为主的等离子体清洗系统效果不明显。
此外,压力的变化可能会导致等离子体清洗反应机制的变化。例如,硅片腐蚀过程中使用的CF4/O2等离子体在压力较低时起主导作用,而随着压力的增加,化学腐蚀不断加强,逐渐占主导地位。
3.电源功率和频率
电源的功率对等离子体的参数有影响,如电极的温度、等离子体产生的自偏压和清洗效率。
随着输出功率的增加,等离子清洗速度逐渐加强,并逐渐稳定在峰值,而自偏压力随着输出功率的增加而增加。由于功率范围基本恒定,频率是影响等离子体自偏压的关键参数,随着频率的增加,自偏压力逐渐下降。
此外,随着频率的增加,等离子体中电子的密度会逐渐增加,粒子的平均能量会逐渐下降。
四是工作气体
工艺气体的选择是等离子体清洗机设计的关键步骤。虽然大多数气体或气体混合物可以去除污染物,但清洗速度可以相差数倍甚至数十倍。例如,在氧气(O2)中加入不同比例的氟化硫(SF6)作为工艺气体清洗有机玻璃,可以大大提高清洗速度。



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