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等离子清洗机清洗原理和结构是什么?有何特点?

时间:2021-07-03 14:34
等离子清洗机是利用等离子体来达到常规清洗无法达到的效果。
等离子体就像固体、液体或气体一样,是一种物质状态,也称为第四态。
把足够的能量加到气体上,使其离化便变成等离子状态。
等离子体中的“活性”成分包括:离子、电子、活基、激发态(亚稳态)和光子等。
等离子清洗机是利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理,从而达到净化、改性、光刻胶灰化等目的。
清洗原理
利用射频电源在真空腔内,在一定压力下产生高能量无序等离子体,利用等离子体轰击被清洗产品表面,从而达到清洗目的。
等离子清洗机清洗原理和结构是什么?有何特点?
等离子清洗机结构
主要由控制单元、真空腔和真空泵三大部分组成,结构简单,易于操作。以下对三个部分进行说明:
一是控制部件。
国产的等离子清洗机,包括国外进口的,控制单元主要有四种方式:半自动控制,全自动控制,PC电脑控制,液晶触摸屏控制。
控制台被划分为两个大的部分:
电源部分:主电源频率为40KHz,13.56MHz,2.45GHz,其中13.56MHz是需用电源匹配器;
系统控制单元:分为按键控制(半自动,全自动),计算机控制,PLC控制(液晶触摸屏控制)。
2.真空腔体:
真空腔体主要分为两类材料:
一、不锈钢真空腔。
二、石英腔。
3.真空泵:
有两种真空泵:
一是干泵。
二是油泵。
等离子清洗机面板结构
清洗特点
等离子清洗机采用数控技术,自动化程度高,控制设备精度高,时间控制精度高;等离子清洗时,对表面没有损伤层,表面质量有保障;由于是在真空中进行,不污染环境,保证了清洗表面不受二次污染。


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