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MM-3A电镜微操纵仪

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德国Kleindiek操纵仪

Kleindiek Nanotechnik操纵仪的驱动单元是由压电陶瓷构成的纳米马达,因此它最大的特点是能够进行纳米级精确移动,在保证纳米级移动的同时其专利的设计可以同时做到毫米级的移动范围。

德国Kleindiek操纵仪


德国Kleindiek Nanotechnik操纵仪的驱动单元是由压电陶瓷构成的纳米马达,因此它最大的特点是能够进行纳米级精确移动,在保证纳米级移动的同时其专利的设计可以同时做到毫米级的移动范围,整个操纵装置全部由纳米马达驱动,从而保证了系统体积非常小,可以很容易地放入电子显微镜腔室内。



德国KleindiekNanotechnik生产的纳米显微操纵仪的突出特点:


纳米操纵精确度:安装在MM3A操纵臂前端的钨探针在X,Y方向最小移动距离为5nm,在Z方向最小移动距离为0.5nm。

快慢可调的操作速度:可以选择一个步进0.5nm,也可以选择最大移动速度1cm/S。MM3A将大范围和超精细操作完美地结合在一起。

紧凑的结构设计:MM3A体积小,可以很宽松地在电镜腔室内安装1~8个系统。

三维大空间操作范围:X、Y方向可以做240度的旋转,Z轴方向做12mm的伸长,MM3A可操作的空间范围最大达100cm3。

几乎无漂移:我们曾经做过实验MM3A钨探针针尖在场发射电镜放大100K条件下每隔一分钟拍一张照片,持续一小时后通过对照片的分析得出,在排除电镜电压不稳定因素外,MM3A几乎不产生漂移。

与电镜的连接:MM3A安装在加工好的平台上,该平台再固定在电镜的样品台上,整个安放过程十分方便,几分钟就可完成,不使用时将平台卸下取出既可。控制线通过电镜腔室上的空法兰穿出并密封,不会影响电镜的真空。






技术参数:

Length/Width/Height60/22/25mm
OperatingrangeXY/Z240°/12mm
ScanrangeX/Y/Z20/15/1µm
MaxSpeedXY/Zupto10/2mm/s
ResolutionX10-7rad(5nm)
ResolutionY10-7rad(3.5nm)
ResolutionZ0.25nm
HysterisisdeviationZ<200nm
HysterisisAngle(α)Z<10°(0.2rad)
Lowesttemp273K
Highesttemp353K
Lowestpressure10-7mbar
Holdingforce1N
Holdingtorque3Nmm-4Nmm
LiftY5g
Signalresistance(probing)7.0Ω
Maxvoltage(probing)100V;Maxcurrent(probing)100mA






测量材料电学性能


 

在扫描电镜中操作,进行断裂试验,微焊接


 


移动纳米级微小颗粒

 



半导体失效分析



光阑定位仪




作为SPM用在SEM中






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