美国产PlasmaCleaningSystem
PE-75台式实验室等离子表面处理机
PE-75小型等离子表面处理设备是专门针对于大学研究机构和工厂研发部门设计的小批量样品处理装置.作为有针对的设计，PE-75拥有一个超大肚量的腔体和大面积的处理电极，适合于单个大样品的处理。
设备特点:
1.占地体积小，可放置在任何实验台上。
2.性能可靠“肚量”宽大。真空腔体采用T6061航空铝合金材料无缝焊接，真空腔体273mmDxφ254mm，样品放置空间大。
3. 配置灵活 可配置不同的频率及功率：50KHz/13.56MHz；控制系统可选择了PLC微电脑控制和更精准的全数字电脑控制，以满足不同用户的要求。
4. 操作简便，一般操作人员在极短的时间内就可以熟练操作，甚至只需要几分钟就可掌握。
5. 安全保障：在小型设备中，唯一引入一键急停保护按钮，可以快速终止实验，以最小程度降低因操作失误而造成对样品的损害。
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标准配置 |
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真空腔 |
T6处理焊接耐用的6061铝合金材料 |
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真空腔规格 |
φ254mmx273mmD |
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电极规格 |
一层水平电极W228.6xD254mm间隔139.7mm |
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等离子发生器 |
功率：max400W(连续可调）频率50KHz |
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供气 |
一路气体通道，配备流量控制器0-25cc/minw/精密针形阀 |
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压力测量 |
热电偶真空计0-1Torr.供气：6mm连接件 |
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控制器 |
PLC微电脑控制系统。键盘用户界面，数字字母显示器。方案工艺可以进行自行设置。 |
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外部尺寸 |
457mmWX482mmDX609mmH |
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状态保护 |
安全保护型紧急停止按钮 |
附件（可选件）
抽气装置：推荐型号：5CFM 2级直驱真空油泵
•氧气发生器
•附加第二气体通道。附加第二气体控制器，0-25cc/min
•50KHz/400w可调节射频发生器，13.56MHz/125W/300W可调节射频发生器自动阻抗匹配网络电源(HF)RF Power Supply&Auto Matching Network
•接枝设备
高级配置：
•PC/笔记本电脑的控制系统：基于Windows操作系统，装有等PlasmaEtch操作软件的笔记本电脑，包括全自动系统操作，流程排序，多配方存储，以及其他高级功能。
•质量流量控制器：附加质量流量控制器也可提供。
•气流减压装置。
处理实例：ITO玻璃等离子处理后亲水性及比表面能对比
处理前：36号达因笔测试立刻收缩 处理后：50号达因笔 测试合格
