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PE50实验室等离子表面处理机

PE-50小型等离子表面处理机是专门针对于大学/科研机构研发的小批量样品处理装置,具有移动方便、多种配置功能、超高性能及稳定性、操作方便的特点。

美国产Plasma Cleaning System

PE-50台式实验室等离子表面处理机


PE-50小型等离子表面处理设备是专门针对于大学研究机构和工厂研发部门设计的小批量样品处理装置.作为有针对的设计,突出移动方便,超高功能和性能,操作方便的使用特性。

设备特点:


1.体积小(宽356mmx高368mmx深457mm),可放置在任何实验台上。

2.性能可靠“肚量”宽大。真空腔体采用T6061航空铝合金材料无缝焊接,电极面积达到114mmx152mm,腔体与电极之间的间隙可到51mm,样品放置空间大。另外,PE-50可以升级成PE-50XL,处理面积达到191mmx223mmx90mm。

3.配置灵活可配置不同的频率及功率:50KHz/13.56MHz;控制系统可选择了PLC微电脑控制和更精准的全数字电脑控制,以满足不同用户的要求。

4.操作简便,一般操作人员在极短的时间内就可以熟练操作,甚至只需要几分钟就可掌握。

5. 安全保障:在小型设备中,唯一引入一键急停保护按钮,可以快速终止实验,以最小程度降低因操作失误而造成对样品的损害。







外部尺寸 356mmWx368mmDx457mmH
真空腔材质 耐用的焊接6061 T6铝合金真空腔
真空腔尺寸 (约140mm宽x179mm深x89mm高)
电极尺寸 114mm(宽)x152mm(深)间隙51mm
等离子发生器 功率max.400w(可调)
频率:50KHz(可选配13.56MHz)
供气 气体流量控制器0-25cc/minw/精密针形阀
压力测量 热电偶真空计0-1Torr
控制器 PLC微电脑控制系统。键盘用户界面,数字字母显示器。设置方案工艺可以进行自动处理。
安全保障 一键急停按钮
电源 220VAC,14A
PE-50升级版 处理面积191mmx223mmx90mm


附件(可选件)


抽气装置:推荐型号:5CFM2级直驱真空油泵
•氧气发生器
•附加第二气体通道。附加第二气体控制器,0-25cc/min
•50KHz/400w可调节射频发生器,13.56MHz/125W/300W可调节射频发生器自动阻抗匹配网络电源(HF)RFPowerSupply&AutoMatchingNetwork
•接枝设备


高级配置:


•PC/笔记本电脑的控制系统:基于Windows操作系统,装有等PlasmaEtch操作软件的笔记本电脑,包括全自动系统操作,流程排序,多配方存储,以及其他高级功能。
•质量流量控制器:附加质量流量控制器也可提供。
•气流减压装置。






处理实例:光刻胶去除





 


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