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ET4000台阶仪

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KosakaET4000探针式轮廓仪

ET4000具有高精确性、稳定性和重复性,可测量FPD、晶片、磁盘,和与纳米材料相关物件的表面特性、台阶高度和粗糙度等。

KosakaET4000探针式轮廓仪


ET4000具有高精确性、稳定性和重复性,可测量FPD、晶片、磁盘,和与纳米材料相关物件的表面特性、台阶高度和粗糙度等。坚固的花岗岩材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提高了仪器的重复精度,并降低了地板噪音对测量的干扰。ET4000为满足用户不同应用方向的需要提供了多种可选配置,通过选配三维成像附件套装还可以极大地扩充仪器的功能。


1.具有极佳的台阶高度重复性5Å(1σ)和线性度(垂直线性度:200nm以上为±0.25%;200nm以下为0.5nm);
2.高分辨率,纵轴最大分辨率为0.1nm,横轴为0.01μm,可精确测量纳米级至几百微米级台阶高度;
3.超高直线度:0.005μm/5mm,可测定微细表面形状、段差、平面度、粗度、应力分析等;
4.低测定力:采用直动力LVDT检出器,触针力在0.5μN~500μN范围可以任意调节,可测定软质材料;





5.即时监控系统:配置标准CCD,可即时监控量测位置;还可选购TopViewCCD,进行高精度定位量测;



6.可扩充成三次元设备和追加三次元解析软件,观察样品全貌和测定台阶移动量;
 


7.采用天然金刚石(R2μm)作为探头,经久耐用;





型号 ET4000M ET4000A ET4000L
最大样品尺寸 300x300mm 210x210mm 300x400mm
样品台 尺寸 320x320mm 220x220mm 540x400mm
X轴倾斜度 ±1mm/150mm(机动倾斜)
Y轴倾斜度 —— ±1mm/150mm(机动倾斜)
承重 2Kg
检出器 0.5μN-500μN(0.05mgf-50mgf)可调节
范围 100μm
驱动 LVDT直动式(差动变压器)
触针 ET-1479(R2μm) ET-1479(R2μm)ET-1480(R0.5μm)
X轴 最大测长 100mm
直线度 0.005μm/5mm(0.1μm/100mm)
速度 0.005-2mm/s(定位速度10mm/s)
重复性 ±5μm(定位)
Y轴 最大测长 —— 150mm 400mm
直线度 —— 5μm/150mm
重复性 —— ±5μm(定位)
Z轴 最大测长 52mm
放大倍数 垂直 50-2000000
水平 1-10000
3D —— 可选择
θ轴 —— 可选择
辅助功能 教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等
监控系统 摄像装置 1/2inchCCD(768x494像素)
监视装置 视频捕捉板
应用 成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度
重复性 1σ0.5nm
电源 AC100V800VA
外观尺寸 W660xD580xH660mm200Kg W930xD930xH790mm380Kg





全自动接触式轮廓仪ET4000系列可适用于薄膜、FPD、晶片、磁盘和与纳米材料相关物件,测量微细表面形状、段差、平面度、粗度、应力分析等,可广泛应用于半导体、微量流控、精细加工和存储器等行业。




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