全国服务热线:

021-35359028

邮箱地址:

admin@instsun.com

热门搜索:等离子表面处理机 真空等离子清洗机 等离子清洗机

ET150台阶仪

您的当前位置:首页 > 产品中心 > 台阶仪/粗糙度仪 > ET150台阶仪

Kosaka ET150台阶仪

KOSAKAET150基于WindowsXP系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS及平板显示等。

KosakaET150台阶仪



株式会社小坂研究所(KOSAKA)是于1950年创立,也是日本第一家发表光学杠杆表面粗糙度计,是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为最具代表性单位且在日本精密测定也占有一席无法被取代的地位。

KOSAKAET150基于WindowsXP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。

ET150配备了各种型号探针,提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头,彩色CCD原位采集设计,可直接观察到探针工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。
 


型号 ET150
最大样品尺寸 φ160x48mm
样品台 尺寸 φ160
倾斜度 ±2°(XY手动)
承重 2Kg
检出器 触针力 10μN-500μN(1mg-50mg)
范围 600μm(0.1nm分辨率)
驱动 直动式(差动变压器)
触针 R2μm顶角60°
X轴 最大测长 100mm
直线度 0.02μm/100mm
速度 0.005-20mm/s
重复性 ±5μm(定位)
Y轴 最大测长 25mm/手动
Z轴 最大测长 50mm
放大倍数 垂直 50-2000000
水平 1-10000
监控系统 摄像装置 1/3inchCCD
监视装置 视频捕捉板
移动方法 手动
辅助功能 教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等
应用 成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度
重复性 1σ1nm
电源 AC90-240V50/60Hz300VA
外观尺寸 W500xD440xH630mm120Kg(不含防震台)





 

前制程机台(如曝光机、溅镀机、蚀刻机)bestrecipe找寻。
例如:PVD、CVD、DLC真空溅镀薄膜台阶、应力测试及软质光阻材料等薄膜台阶测量。
Copyright © 2018 上海昭沅仪器设备有限公司 沪ICP备 10221323号 技术支持:上海网站建设
一键拨号 一键导航
QQ在线咨询