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BT-1等离子处理系统

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BT-1大型等离子表面处理机

BT-1具有大的处理腔及样品架,适用于工业级等离子处理,可用于等离子清洗,等离子刻蚀,反应离子刻蚀等等。

BT-1大型等离子表面处理机
 
PE公司成立于1980年,致力于提供电子行业用的等离子设备及相关服务。通过几十年的发展,公司发展成为提供等离子设备方面的专家,可为客户提供专业的产品和解决方案,先后众多知名企业提供等离子处理设备:美国宇航局NASA美国波音Boeing,著名的电子保安系统产品制造商美国霍尼韦尔Honeywell美国摩托罗拉Moto德国拜耳Bayer,世界军用飞机的领军企业美国洛克希德马丁Lockheed-Martin等等。

PE拥有多项发明专利,在开发和制造等离子设备方面有许多突破性创新,公司拥有等离子体技术和制造技术领域里最尖端的技术。这些专利技术的产品线是公司独有的,生产的等离子设备是业界公认的集清洗速度、完整均匀性、安全可靠性为一体的等离子处理设备。

BT-1适用于工业级等离子处理,可用于等离子清洗,等离子刻蚀,反应离子刻蚀等等。BT-1具有大的处理腔及样品架,非常适用于半导体,电子,太阳能,PCB等工业生产领域,对于那些希望等离子处理低成本且高效率的客户也同样使用。
电极:5层20"Wx21"D(可选其他配置)
等离子发生器:600W(可调)13.56MHz
供气:气体流量控制器0-200cc/min
控制器:PLC彩色触屏控制
真空计:1-2000mT
真空泵:29CFM2级油泵
腔体材料:6061-T6铝合金
腔体尺寸:25”x25”x22”
外观尺寸:70"x36”x32”

可选配置:

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